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晶圓靜態(tài)參數(shù)測試

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設備:半導體參數(shù)測試儀、探針臺B1505A、TS2000-HP

廠商:Keysight、MPI

用途:

技術指標:

l  進行寬范圍的電流/電壓測量:達1500A/10KV

l  精確的泄漏電流測量(亞pA能力)

l  精密的導通電阻表征(μΩ分辨率)

l  快至10μs的大功率脈沖測量

l  高壓偏置下的中電流測量能力:500mA@1200V

l  進行高電壓偏置的CV測量

l  最大直流偏置±3000V

l  高功率圓片探測支持,在圓片上進行>200A10KV的測試

l  真旋鈕掃描曲線追蹤儀功能

l  支持輸出波形監(jiān)視的示波器觀察(I/V)功能

l  可溯源至國際標準的大電流/電壓測量

l  可擴展的平臺和體系結構,能隨需求變化添加測量能力

l  提供4種測試模式:曲線測試模式、應用測試模式、傳統(tǒng)測試模式和快速測試模式。可為用戶不同的器件測試選擇,以最大程度地提高測量靈活性。

l  模塊化配置,有10個用于支持模塊的插槽

l  多頻電容測量單元(MFCMU),頻率范圍1KHZMHZ

l  適用于封裝測試和晶圓測試的標準附件:測試夾塊選擇器具,模和高壓偏置三通


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